| 授業科目名（和文） ［Course］ |
半導体物性工学 |
| 授業科目名（英文） ［Course］ |
Semiconductor Science and Engineering |
| 学部（研究科） ［Faculty］ |
情報系工学研究科 |
| 学科（専攻） ［Department］ |
システム工学専攻 |
| 担当教員（○：代表教員） [Principle Instructor(○) and Instructors] |
○末岡 浩治 自室番号（2303）、電子メール（sueoka**c.oka-pu.ac.jp） 坂本 豊和 自室番号（2111）、電子メール（sakamoto**c.oka-pu.ac.jp） ※利用の際は,** を @に置き換えてください |
| 単位数 ［Point(Credit)］ |
後期 2単位 |
| 対象学生 ［Eligible students］ |
1?2?3年次生 |
| 授業概略と目標 ［Course description and Objects］ |
半導体デバイスを支える半導体材料について、産業界における開発の歴史や最先端トピックスを中心に述べる。とくに、半導体デバイスのさらなる高性能化と低消費電力化を実現する新しい原理や新しい材料について説明し、今後の技術課題を明確にする。シリコンやIV族混晶系太陽電池の開発に関する歴史と課題についても述べる。 |
| 到達目標 ［Learning Goal］ |
1.半導体材料の開発の歴史について、十分な知識を持つ。 2.半導体材料の技術動向および技術課題について理解する。 3.シリコンやIV族混晶系を中心とした太陽電池の技術動向および技術課題について理解する |
| 授業計画とスケジュール ［Course schedule］ |
1. 半導体シリコン結晶の開発の歴史1 ?シリコン結晶育成技術について述べる。 2. 半導体シリコン結晶の開発の歴史2 ?無欠陥シリコン結晶の製造技術について述べる。 3. 半導体シリコン結晶の開発の歴史3 ?シリコンウェーハの製造技術について述べる。 4. 半導体シリコン結晶の開発の歴史4 ?エピタキシャルウェーハなど代表的なシリコンウェーハの製造技術について述べる。 5. 半導体シリコン結晶の開発の歴史5 ?他の半導体と比較したシリコン結晶の優位性について述べる。 6. 半導体デバイスの高性能化を実現する材料技術1 ?不純物ゲッタリング技術について述べる。 7. 半導体デバイスの高性能化を実現する材料技術2 ?点欠陥制御技術について述べる。 8. 半導体デバイスの高性能化を実現する材料技術3 ?シリコンウェーハの強度保持技術について述べる。 9. 半導体デバイスの高性能化を実現する材料技術4 ?酸素析出制御技術について述べる。 10. 半導体デバイスの高性能化を実現する材料技術5 ?LSIに用いられる新材料技術について述べる。 11. シリコン系太陽電池 ?多結晶シリコンを中心としたシリコン系太陽電池の現状と課題について述べる。 12. IV族混晶系太陽電池1 ?原子配置制御技術について述べる。 13. IV族混晶系太陽電池2 ?バンドギャップ制御技術について述べる。 14. 産業界における今後の課題1 ?シリコンウェーハの表面完全性などの課題について述べる。 15. 産業界における今後の課題2 ?シリコン結晶の欠陥制御技術における課題について述べる。 |
| 成績評価方法と基準 ［Grading policy (Evaluation)］ |
課題に対するレポートにより評価する。 |
| 教科書 ［Textbook］ |
プリントを配布する。 |
| 自主学習ガイド及び キーワード ［Self learning］ |
授業時に関連する学術論文や専門書を示すので、熟読して理解すること。 シリコン結晶、半導体デバイス、太陽電池 |
| 開講年度 ［Year of the course］ |
28 |